江苏鲁汶仪器 2019 SEMICON CHINA 邀请函
江苏鲁汶仪器 2019 SEMICON CHINA 上海 邀请函，时间：3月20-22日，展位号：N2-2775
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SEMICON CHINA
江苏鲁汶仪器有限公司
MAR 20-22，上海
2019
员工总数106人
3名千人计划专家，7名外籍专家
比利时鲁汶和中科院微电子所共同组建
- 以创新为主导的全球性高科技半导体装备企业，以国际化团队研发出全球领先的磁存储器刻蚀技术，并提供磁存储器的刻蚀设备及解决方案。
2015年9月成立
- LMEC-300
- LMEC-200
- 磁存储刻蚀机
- 专为刻蚀过渡金属及非挥发性金属而研制，主要用于磁性存储器MRAM及磁传感器的研发及生产。独特的三腔室结合式的刻蚀系统设计 ,精准到纳米级的加工精度。克服并解决侧壁沾污、结构损伤、化学损伤、高选择性的问题。
- 核心技术
- 鲁汶仪器在 IEDM 2018 poster引起轰动效应
- 刻蚀/镀膜
- 基于等离子体的真空技术，同时开发了科研型单腔设备以及量产型的平台式设备，包括RIE、ICP、IBE、PECVD、ICP-CVD等。
- 产品系列
- Semicon China 2019上海新国际博览中心展位号：N2-2775
- 2019年3月20日-22日
鲁汶仪器
期待您的光临
皖公网安备 34010402701575号